以下の可能性があります。
1) VACUUM FILTER の設定が正しくない
SETTING / OPTIONS / VACUUM FILTER を選択し、"Enable Low Vac" と表示された状態で "Yes" を選択してください。
この時、"Disable Low Vac" と表示されていた場合にはすでに Vacuum Pump の設定が ON になっていることを意味しますので、変更の必要はありません。
EXIT キーを押して初めのメニュー画面に戻ってください。
最後にいったん電源を切って、再度、電源を入れてからプログラムをRUNさせてください。
（電源のオン/オフを行わなければ、設定の変更が更新されません。）
2) マグネティックキャリアの裏側に付いている磁石がずれている
電源を切った状態でマグネティックキャリアを外して裏側を確認してください。
バネの右上の丸いくぼみに磁石が付いていますが、これがずれていた場合には元の場所に戻してください。
3) マニホールドのステンレススチール板がずれている
マニホールドを跳ね上げた状態で、右側にあるステンレスプレートを左側に指で押さえてください。