PDS-1000/He システムに関する質問集

質問 ID: 3678

[PDS-1000/Heシステム] Hold状態にしてもチャンバー外から空気が流入して陰圧にならない場合、どうすれば良いですか?

回答

空気が流入して陰圧にならない原因として、以下の可能性が考えられます。

1) チャンバー扉部分にあるO-リング部分の劣化。
O-リングを交換してください。

2) チャンバー部分の劣化によるひび割れ。
修理対応が必要ですので、弊社修理部門にご連絡ください。