PDS-1000/He システムに関する質問集
空気が流入して陰圧にならない原因として、以下の可能性が考えられます。1) チャンバー扉部分にあるO-リング部分の劣化。O-リングを交換してください。2) チャンバー部分の劣化によるひび割れ。修理対応が必要ですので、弊社修理部門にご連絡ください。